数据显示，9月28日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购1.36亿元，位居当日股票ETF净流入排名40/1348。最新规模107.2亿元，前一日规模110.92亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为1.22%。
近5日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)遭净赎回3205.54万元，位居股票ETF净流出排名第121/1348。近10日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)遭净赎回2.53亿元，位居股票ETF净流出排名第36/1348。近20日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)遭净赎回3.4亿元，位居股票ETF净流出排名第32/1348。
华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）成立于2025年5月26日，基金全称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。
规模方面，截止9月28日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）最新份额为110.65亿份，最新规模为107.2亿元。回顾2025年12月31日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）份额为5.7亿份，规模为8.86亿元。即该基金今年以来份额增加1840.20%，规模增加1109.57%。
流动性方面，截止9月28日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）近20个交易日累计成交金额196.54亿元，日均成交金额9.83亿元；今年以来，179个交易日，累计成交金额1408.02亿元，日均成交金额7.87亿元。
华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）现任基金经理为李沐阳。李沐阳自2025年5月26日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益190.64%。
最新定期报告显示，华泰柏瑞基金（588710）重仓股包括华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、安集科技、盛美上海、富创精密，持仓占比如下：
股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688120华海清科10.382.28万5.87亿688012中微公司9.980.43万5.64亿688361中科飞测8.582.81万4.85亿688072拓荆科技6.85G.01万3.88亿688200华峰测控6.15f.40万3.48亿688037芯源微5.87u.61万3.32亿688126沪硅产业5.55x7.25万3.14亿688019安集科技5.14
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